一、标准化精密核心参数
Hellma这款CaF₂矩形光学毛坯件(CaF2-Rohteil),采用高纯单晶氟化钙原料,经过高精度晶体生长+超精密加工工艺打造而成,参数精准、适配度拉满,无需复杂二次加工,可直接用于工业精密装配与光学系统集成,核心规格一目了然:
核心材质:专属193nm工况LD-C级单晶CaF₂,专为深紫外激光场景量身定制,杂质含量极低、光学均匀性出色,性能全面碾压普通氟化钙材料
晶体取向:搭载行业黄金<111>结晶取向,高效抑制应力双折射,实现光路零畸变稳定传输
外形尺寸:75.0mm×52.0mm×3.8mm 双面平晶结构,适配矩形光路窗口、滤光基底、激光传输平板等绝大多数主流安装场景
尺寸公差:全维度±0.1mm高精度公差,装配贴合度拉满,规避尺寸偏差导致的光路偏移、设备装配故障等问题
表面品质:精细研磨工艺打造,表面粗糙度Rq 2μm,平整度与结构稳定性在线,轻松适配各类精密光学工况
防护工艺:标配0.8mm防护倒角,从根源杜绝元件边缘崩边、开裂问题,提升抗冲击能力与使用寿命,适配工业长期量产高频使用场景

二、全场景适配应用领域
凭借193nm波段顶级光学性能、激光稳定性和高精度结构设计,这款Hellma CaF₂单晶元件精准适配各大核心领域,覆盖深紫外光学、半导体制造、精密检测等主流场景,实用性拉满:
1. 半导体193nm光刻辅助光学系统
可作为193nm DUV光刻设备的光路窗口、准直及滤光核心基底,适配28nm~7nm先进半导体制程。依托超低双折射、高激光损伤阈值的硬核性能,可轻松应对准分子激光长期高频辐照,稳定光刻光路,大幅提升芯片曝光精度与生产良率,是光刻设备的配套元件。
2. 深紫外激光检测与校准设备
广泛适配193nm激光光束校准、能量检测、光斑分析等精密设备。凭借超低背景荧光、极低光能损耗的特性,可精准还原激光原始参数,杜绝基材自身光学缺陷带来的检测误差,为激光设备标定、精准调试提供高精度光学支撑。
3. 光谱分析与精密科研仪器
适配深紫外光谱仪、真空紫外光学设备、精密拉曼检测仪器等科研设备。稳定的晶体结构+超低杂散光干扰的双重优势,轻松拿捏高精度光谱检测、微观光学观测的严苛要求,是精密实验室科研场景的刚需配件。
4. 工业高功率激光光学窗口
可作为193nm工业激光加工设备的防护窗口、光路隔离核心元件。激光耐久性与结构稳定性,可长期抵御高功率激光冲击,从容应对复杂工业工况,同时兼顾优秀透光性与机械防护能力,耐用度拉满。

三、产品应用价值总结
Hellma 193nm LD-C级<111>取向CaF₂单晶元件,是深紫外光学领域妥妥的级标准化产品。品牌从晶体生长、晶向精准把控到超精密加工,全流程严苛质控,精准解决了传统氟化钙元件光学畸变、激光耐候性差、装配适配度低、易破损等行业痛点。凭借能打的193nm光学性能、高精度尺寸、超长使用寿命,这款元件成为半导体光刻、深紫外激光、精密检测领域的高性价比核心配件,为光学设备高精度、高稳定、长周期运行保驾护航,工业量产、精密科研场景都能适配!