ADL GSW100 直流溅射电源

ADL GSW100 直流溅射电源，为 GSW 系列 10kW 水冷型直流电源，支持恒压、恒流、恒功率三种控制模式，配备自动电弧处理功能，适配真空镀膜、磁控溅射等材料制备工艺场景。设备采用 19 英寸 3U 机架结构，水冷散热方案，可在无空调车间稳定运行，输出为浮动电位设计。支持多台并联使用，无需主从接线，功率可拓展至 240kW。型号细分 GSW100/500、GSW100/800

产品型号：
厂商性质：经销商
更新时间：2026-09-18
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联系电话：010-64714988,197

品牌	ADL	供货周期	一个月
应用领域	化工,电子/电池,道路/轨道/船舶,半导体,机械设备

ADL GSW100 直流溅射电源

ADL GSW100 直流溅射电源，为 GSW 系列 10kW 水冷型直流电源，支持恒压、恒流、恒功率三种控制模式，配备自动电弧处理功能，适配真空镀膜、磁控溅射等材料制备工艺场景。

GSW100 整机功率 10kW，包含多个子型号，GSW100/500 输出 500V/40A；GSW100/800 输出 800V/20A；GSW100/1000 输出 1000V/18A。采用水冷散热，散热效率高，适合长时间连续生产工况。设备为标准 19 英寸 3U 机架式，便于集成到真空镀膜设备机柜。输出为浮动电位设计，适配溅射工艺负载特性。

内置电弧检测与快速处理单元，电弧发生时自动响应，降低靶材损伤，减少膜层瑕疵。支持三种控制模式，电压、电流、功率可在 0~100% 额定区间内设定。操作方式分为前面板本地手动调节，或者外接控制接口远程控制，可选配 3 位半数字显示屏，同步显示电压、电流、功率三项参数。多台并联扩容无需主从接线，多机同步运行，系统搭建简单，并联后整体功率可达 240kW。可选电磁阀控制等附加模块，适配不同真空工艺需求。

ADL GSW100 直流溅射电源

技术参数

项目	参数
型号	GSW100
额定输出功率	10kW
子型号	GSW100/500、GSW100/800、GSW100/1000
输出规格	500V/40A；800V/20A；1000V/18A
控制模式	恒压 / 恒流 / 恒功率
散热方式	水冷
机箱规格	19 英寸，3U
并联能力	多机并联，功率240kW，无需主从接线
功能	自动电弧处理，浮动输出
操作方式	前面板手动 / 外部接口远程控制